超高真空系統(tǒng)的全壓力設(shè)備中除了最早采用的B-A型超高真空規(guī)外，又發(fā)展了許多極高真空規(guī)，如冷陰極磁控規(guī)、抑制規(guī)和彎注規(guī)等。但對(duì)許多研究工作來(lái)說(shuō)，僅靠全壓力數(shù)據(jù)是不夠的。例如真空系統(tǒng)中的吸附、凝結(jié)、脫附過(guò)程等，它涉及到容器表面和系統(tǒng)內(nèi)部物質(zhì)和殘余氣體分子的相互作用。這時(shí)獲得系統(tǒng)內(nèi)氣體組分和分壓力的數(shù)據(jù)比全壓力數(shù)據(jù)更能說(shuō)明問(wèn)題。真空條件下的氣體分析和分壓力測(cè)量通常是由動(dòng)態(tài)質(zhì)譜計(jì)完成的。被輸送介質(zhì)中，若含有固體顆粒，泵入口要加過(guò)濾網(wǎng)：如含有鐵磁質(zhì)微粒，需加磁性過(guò)濾器。水環(huán)真空泵在使用中環(huán)境溫度應(yīng)小于40℃，電機(jī)溫升不得超過(guò)75℃。磁力泵正常運(yùn)行1000小時(shí)后，應(yīng)拆檢軸承和端面動(dòng)環(huán)的磨損情況，并更換不宜再用的易損件對(duì)于輸送液為易沉淀結(jié)晶的介質(zhì)，使用后應(yīng)及時(shí)清洗，排凈泵內(nèi)積液。真空泵必須經(jīng)常保持清潔，真空泵上不得放置其他物件，不得堵塞真空泵四周通道，以利維修和操作;經(jīng)常注意三角皮帶的松緊，加以調(diào)整;經(jīng)常注意各管道接頭處是否漏氣，以及箱體內(nèi)預(yù)真空有否下降，否則要及時(shí)維修;經(jīng)常注意冷卻水是否暢通;每次開(kāi)車要斷續(xù)啟動(dòng)4-6次，每次2s以內(nèi)，以克服啟動(dòng)時(shí)較大轉(zhuǎn)矩。